Der SP3-61 ist ein Indium/Zinn-Dioxid-Halbleiter-Gassensor, der eine hohe Empfindlichkeit und Selektivität gegenüber Ozon aufweist. Mit diesem Modell ist der Nachweis von Ozon aus niedrigen Konzentrationsbereichen möglich.
Struktur
Auf dem Aluminiumoxidsubstrat, auf das die Goldelektroden gedruckt sind, wird ozonempfindliches Halbleitermaterial dünn gebildet. Auf der Rückseite des Substrats wird ein Dickschichtheizer aus Rutheniumoxid aufgedruckt und in das Mesh-Keramikgehäuse eingesetzt.
