Allgemeine Spezifikationen für MEMS-Silizium-Chips verstehen

Um die Qualität und Leistung eines MEMS-Siliziumchips zu bewerten, müssen sich Kunden auf Spezifikationen verlassen...

... zumindest bis sie Teile selbst testen können. In diesem Artikel werden die gängigsten Spezifikationen in Bezug auf diese Drucksensorchips erörtert.

Das Wichtigste bei MEMS-Chips ist, dass sie, wenn sie entweder Druck oder Temperatur ausgesetzt sind, eine entsprechende Ausgabe in Millivolt erzeugen, vorausgesetzt, dass eine Eingangsspannung oder Erregerspannung bereitgestellt wurde. Der Millivolt-Ausgang des MEMS-Chips ist im Wesentlichen der Druckwert. Daher ist die allgemeine Eigenschaft, nach der bei jedem MEMS-Chip gesucht werden muss, eine stabile und wiederholbare Ausgabe, wenn der Chip unter verschiedenen Bedingungen getestet wird.

Lesen Sie den vollständigen Artikel unter dem folgenden Link, um allgemeine Spezifikationen zu erfahren, die zur Charakterisierung der Leistung eines Drucksensorchips unter verschiedenen Betriebsbedingungen verwendet werden.